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純度精度:半導体製造における超純水モニタリングのためにローズマウント3051を使用する

2025-10-22

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純粋さへのこだわり:Rosemount 3051 を用いた半導体製造における超純水モニタリング

半導体製造の世界では、水は単なる水ではありません—それは重要な原材料です。超純水(UPW)は、ウェーハのリンス、洗浄、化学物質の希釈に広く使用されています。わずかな汚染でも、歩留まりを損ない、繊細な微細構造を損傷させ、高度な集積回路の性能を低下させる可能性があります。このため、UPWシステムのリアルタイムで信頼性の高いモニタリングは、すべてのファブにとって不可欠です。

超純水が重要な理由

  1. 厳格な純度要件: 半導体グレードのUPWは、粒子、イオン、有機物、溶解ガスを含まないものでなければなりません。
  2. 歩留まりへの直接的な影響: 1つの不純物がナノメートルスケールの回路に欠陥を引き起こす可能性があります。
  3. 継続的な需要: 最新のファブは毎日数百万リットルのUPWを消費しており、効率性と信頼性は不可欠です。

圧力測定の役割

導電率計や粒子カウンターがUPWモニタリングで注目を集めることが多い一方で、圧力トランスミッタは静かにしかし重要な役割を果たしています。

  1. ろ過および研磨ユニット全体の安定した流れの確保
  2. ポンプと膜を過圧から保護
  3. リーク検出とシステム完全性チェックのサポート

Rosemount 3051の登場

EmersonのRosemount 3051圧力トランスミッタは、UPWアプリケーション向けの実績のあるソリューションです。その精度、安定性、診断機能の組み合わせにより、世界中のファブで信頼できる選択肢となっています。

UPWシステムの主な利点

  1. 高い精度と安定性: 正確な差圧およびゲージ圧の測定値を提供し、ろ過および分配ループの一貫したモニタリングを保証します。
  2. 高度な診断: 組み込みのループ完全性チェックにより、生産に影響を与える前に、水分浸入や不安定な電源などの問題を検出しますEmerson
  3. モジュール設計: 柔軟な構成により、スキッドマウントされたUPWシステムへの容易な統合が可能です。
  4. グローバルな信頼性: 重要な業界でのEmersonの実績に裏打ちされた3051は、ダウンタイムが高コストになる環境での稼働時間を保証します。

アプリケーション例

半導体ファブのUPW研磨ループにおいて:

  1. Rosemount 3051差圧トランスミッタは、ウルトラフィルタを監視します。安定した測定値は、フィルタの状態を確認し、早期交換を防ぎます。
  2. 統合された診断機能は、潜在的な問題をオペレーターに警告し、計画外のメンテナンスを削減します。
  3. 今後の展望

半導体の幾何学的形状が縮小し、純度要件が厳しくなるにつれて、

Rosemount 3051のような堅牢な計器は不可欠であり続けるでしょう。精密な測定とインテリジェントな診断を組み合わせることで、ファブは製品品質と運用効率の両方を保護できます。

問い合わせを直接私たちに送ってください.

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